·Î±×ÀÎ  /  ȸ¿ø°¡ÀÔ  /  »çÀÌÆ®¸Ê 
 
UGN °æºÏ´º½º > ¿µÁÖºÀÈ­ÀÎÅͳݴº½º > Åõµ¥ÀÌ ¿µÁÖ¡¤ºÀÈ­ [Àμâ] [±ÛÀÚ-] [±ÛÀÚ+]
 
±â»ç ÀÛ¼ºÀϽà - 2020-02-08 12:53:35
'±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷ Àμö'
SK¸ÓƼ¸®¾óÁî, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå º»°Ý ÁøÃâ
 

¢ºSK¸ÓƼ¸®¾óÁî º»»ç Àü°æ

SK¸ÓƼ¸®¾óÁî(´ëÇ¥ÀÌ»ç ÀÌ¿ë¿í)°¡ ±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐÀÇ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷À» ÀμöÇÏ°í ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿¡ ÇʼöÀûÀ¸·Î ¾²ÀÌ´Â Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®(Photoresist, PR) ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡ º»°Ý ÁøÃâÇÑ´Ù.

SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â 7ÀÏ ÀÌ»çȸ¸¦ ¿­¾î ±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷À» ÀμöÇÏ´Â ¿µ¾÷¾ç¼öµµ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù. Àμö ±Ý¾×Àº 400¾ï ¿øÀÌ´Ù. SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø ´Þ ¾È¿¡ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷À» ´ã´çÇÏ´Â ÀÚȸ»ç¸¦ ¼³¸³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®´Â ºûÀÇ ³ëÃâ¿¡ ¹ÝÀÀÇØ È­ÇÐÀû ¼ºÁúÀÌ ¹Ù²î´Â °¨±¤¾×À¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ À§¿¡ Á¤¹ÐÇÑ È¸·Î ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â '³ë±¤ °øÁ¤'¿¡¼­ ¾²ÀÌ´Â ÇÙ½É ¼ÒÀç´Ù. ¹ÝµµÃ¼ °íÁýÀûÈ­¿¡ µû¶ó ±Ø¹Ì¼¼ÇÑ ÆÐÅÏ ±¸ÇöÀÌ ¿ä±¸µÇ°í 3D ³½µåÀÇ ÀûÃþ °æÀïÀÌ ½ÉÈ­µÇ¸é¼­ ¼ö¿ä°¡ Áö¼ÓÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÇöÀç ¾à 3Á¶ 5,000¾ï ¿ø ±Ô¸ðÀÇ ±Û·Î¹ú Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå ¼ºÀ强ÀÌ ´õ¿í ÁÖ¸ñ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ºÐ¾ß¿¡¼­ 30³â ÀÌ»óÀÇ ¾÷·ÂÀ» ½×¾Æ¿Â ±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐÀº 2005³â ºÒÈ­¾Æ¸£°ï(ArF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®¸¦ ±¹³» ÃÖÃÊ·Î ¾ç»êÇßÀ¸¸ç, 3D ³½µå °øÁ¤¿ë ºÒÈ­Å©¸³Åæ(KrF) Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ®, ¹Ý»ç¹æÁö¸·(Bottom Anti-Reflection Coating, BARC) µî ´Ù¾çÇÑ Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç¿Í ºÎÀç·áÀÇ °³¹ß °ø±Þ ÀÌ·ÂÀ» °®°í ÀÖ´Ù. ÀÌ¿Í ÇÔ²² ±ØÀڿܼ±(EUV)¿ë Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® °ü·Ã ÀÚü ƯÇ㸦 º¸À¯ÇÏ°í ÀÖ¾î ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼­ ³ôÀº °æÀï·ÂÀ» °¡Áø °ÍÀ¸·Î Æò°¡ ¹Þ°í ÀÖ´Ù.

SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â À̹ø Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå ÁøÃâÀ» ÅëÇØ Æ¯¼ö°¡½º Áß½ÉÀÇ ºñÁî´Ï½º Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ ´Ù°¢È­ÇÏ°í, °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç °³¹ß ¿ª·®À» °­È­ÇØ ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ Á¾ÇÕ ¼ÒÀç ±â¾÷À¸·Î µµ¾àÇϱâ À§ÇÑ ±â¹ÝÀ» ¸¶·ÃÇÏ°Ô µÆ´Ù.

ÇâÈÄ SK¸ÓƼ¸®¾óÁî´Â ½ÃÀå Á¡À¯À² 90% ÀÌ»óÀ» ±¹¿Ü ±â¾÷ÀÌ Â÷ÁöÇÏ´Â µî ¿Ü»ê ÀÇÁ¸µµ°¡ ¸Å¿ì ³ôÀº Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå¿¡¼­ ±¹³» °³¹ßÀ» ÅëÇÑ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ °ø±Þ°ú ±â¼ú Çù·Â ¿ä±¸°¡ Áõ´ëµÇ°í ÀÖ´Â ¸¸Å­ ½Å±Ô R&D ÀÎÇÁ¶ó¸¦ Ãß°¡ È®º¸ÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» °­È­ÇÏ°í, ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Æ®·»µå º¯È­¿¡ ¼±Á¦ÀûÀ¸·Î ´ëÀÀÇÒ ¹æħÀÌ´Ù.

¾Æ¿ï·¯ ÇöÀç ±¹»êÈ­¿¡ Âø¼öÇÑ °í¼øµµ ºÒÈ­¼ö¼Ò °¡½º¿Í ÇÔ²² Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ±¹»êÈ­¿¡µµ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇØ ÁßÀå±âÀûÀ¸·Î ¿ì¸®³ª¶ó ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀ硤ºÎÇ°¡¤Àåºñ »ê¾÷ °æÀï·Â Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÒ Àü¸ÁÀÌ´Ù.

ÀÌ¿ë¿í »çÀåÀº "¼ºÀå ÀáÀç·ÂÀÌ Å« Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç »ç¾÷À» Áö¼ÓÀûÀ¸·Î ¹ë·ù¾÷(Value up)ÇÏ¿© °í°´µéÀÇ ¼ÒÀç ±¹»êÈ­ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °íºÎ°¡°¡Ä¡ Á¦Ç°À» Àû±â¿¡ ¾ç»ê °ø±ÞÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÃÖ¼±À» ´ÙÇÒ °ÍÀÌ´Ù"¸ç "¾ÕÀ¸·Îµµ ½Å±Ô ¼ÒÀç ¿¬±¸ °³¹ß¿¡ ´ëÇÑ Àû±ØÀûÀÎ ÅõÀÚ¿Í ±¹³»¿Ü ±â¾÷°úÀÇ È°¹ßÇÑ Çù·ÂÀ» ÅëÇØ ÁøÁ¤ÇÑ ¼ÒÀç Ç÷§Æû ±â¾÷À¸·Î ¼ºÀåÇØ ³ª°¡°Ú´Ù"°í Çß´Ù. 

  2020-02-08 12:53:35 / UGN°æºÏ´º½º(yaho@ugn.kr)
- Copyright ¨Ï UGN °æºÏ´º½º. ¹«´ÜÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö -
'ÀüÅëµÈÀå ¸Æ Àմ´Ù' ¿µÁÖ ºÎ¼®¸é, 'ºÎ¼®ÅÂ' ÀüÅë µÈÀå ´ã±×±â Çà»ç '°ø°³ 352¸í, °æ·Â 138¸í ¼±¹ß' °æ»óºÏµµ, 2020³â ¼Ò¹æ°ø¹«¿ø 490¸í ½Å±Ô ä¿ë '±ÝÈ£¼®À¯È­ÇÐ ÀüÀÚ¼ÒÀç»ç¾÷ Àμö' SK¸ÓƼ¸®¾óÁî, Æ÷Åä·¹Áö½ºÆ® ¼ÒÀç ½ÃÀå º»°Ý ÁøÃâ 'È­ÇÕ°ú ¾È³çÀ» ¿ÜÄ¡´Ù' ºÀÈ­ ¼®Æ÷û³âȸ, Á¤¿ù ´ëº¸¸§ Áö½Å¹â±â Çà»ç '¾î·Á¿î ÀÌ¿ô¿¡°Ô Å« ÈûÀÌ¡¦' ºÀÈ­¶óÀ̿½ºÅ¬·´, Ãë¾à°èÃþ »ç¶ûÀÇ Áý °íÃÄÁÖ±â

»ï¼ºº¸¼®,¡¤¢¥¢©"`¢ª©ø¥ï¥Ï¡Ù
ÁÁÀº±Ý¡£ÁÁÀºÁý¡£º¸¼®¡£±Ý¡£Àº¡£½Ã°è.¥ï¥Ï¡Ù
¢Ï ¹®ÀÇÀüÈ­ : 054-854-3777 / 841- 7177
°æºÏ ¾Èµ¿½Ã ³²¹®µ¿ 723-7¹øÁö(Âü¾Ø½ÃÀúÃàÀºÇà¾Õ)
 
| µ¶ÀÚÀÇ°ß - ÃÑ 0°ÇÀÇ µ¶ÀÚÀÇ°ßÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
¼º¸í ºñ¹Ð¹øÈ£


´ë±¸°æºÏ´É±Ý³óÇù
¾Èµ¿¾Ï»ê¸¶À»

ȸ»ç¼Ò°³ | ÈÄ¿øÇϱâ | ±â»çÁ¦º¸ | ÃëÀç½Åû | ±âÀÚȸ¿ø½Åû | ±¤°í¹®ÀÇ | »çÀÌÆ®¸Ê | °³ÀÎÁ¤º¸Ã³¸®¹æħ | û¼Ò³âº¸È£Á¤Ã¥
¿ì)760-120 ¾Èµ¿½Ã ºÏ¹®µ¿ 27-2¹øÁö 3Ãþ | Á¦º¸ ¹× °¢Á¾¹®ÀÇ 054-843-5111(ÓÛ) | ¹ßÇàÀÎ ±Ç¿ÀÇü | ÆíÁýÀÎ ±èŵ¿ | û¼Ò³âº¸È£Ã¥ÀÓÀÚ ±Ç¿ÀÇü
ºÎ°¡Åë½Å»ç¾÷ÀÚ ½Å°í¹øÈ£ : °æºÏ Á¦1347È£ | Á¤±â°£Ç๰ »ç¾÷ÀÚµî·ÏÁõ ¹øÈ£ : °æºÏ ¾Æ 00003È£(µî·ÏÀÏ 2005. 09. 01) | Æѽº 054-855-0500
Copyright ¨Ï 2005 °æºÏ´º½º¼­ºñ½º. All rights reserved. e-mail: ugnews@ugn.kr
18640 330741797
TOP